微波高溫?zé)Y(jié)爐是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程，也可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

 

　　下面咱們來了解下微波高溫?zé)Y(jié)爐的安全使用方法：

 

　　1、蓄水池內(nèi)的水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。開動(dòng)水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。

 

　　2、檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查后，人工轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵皮帶盤，如無異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動(dòng)真空泵。

 

　　3、檢查爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級(jí)衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。杠桿手把啟動(dòng)是否靈活。

 

　　4、檢查轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)是否合乎要求。石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。

 

　　5、在以上準(zhǔn)備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動(dòng)規(guī)則，試啟動(dòng)變頻，成功后停止變頻，方可開爐。

 

　　6、爐體上蓋的觀察、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測溫。為了保持恒溫，防止熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。墊好真空密封膠帶。

 

　　7、操作杠桿手把，轉(zhuǎn)動(dòng)真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。打開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達(dá)到規(guī)定值。

 

　　8、在真空度達(dá)到規(guī)定要求后，開始啟動(dòng)變頻，調(diào)整中頻功率，按有關(guān)材質(zhì)的燒結(jié)規(guī)定操作；升溫、保溫冷卻。

 

　　9、燒結(jié)完畢后，停止變頻，按停止變頻開關(guān)，逆變停止工作，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。